高純度氮、氬、氦、氫氣體純化器7NK HP/UP系列
高純度氮、氬、氦、氫氣體純化器專注于電子特種氣體、高純氣體、超純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)裝置的R&D及制造，為半導(dǎo)體行業(yè)、光電R&D及制造、實(shí)驗(yàn)室、航空航天、**、氣體灌裝行業(yè)的產(chǎn)品升級(jí)提供不可或缺的技術(shù)服務(wù)。7NK HP/UP氣體純化設(shè)備純化氮?dú)?純度98% ~ 99.9%)可以純化得到純度為99.9995% ~ 99.9999%的高純氮?dú)狻Ｔ撗b置采用催化脫氧和吸附干燥的方法，去除氣體中的氧氣、水、二氧化碳和粉塵等雜質(zhì)，獲得高純氮?dú)狻?
高純度氮、氬、氦、氫氣體純化器產(chǎn)品簡(jiǎn)介
7NK HP/UP系列半自動(dòng)再生純化系統(tǒng)由氣路和電控兩部分所組成。氣路部分主要由催化劑純化單元和一系列氣動(dòng)閥門、氣體管路和散熱器所組成。純化系統(tǒng)采用化學(xué)反應(yīng)與物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H2O, O2, CO, CO2, NMHC, H2等雜質(zhì)去除到5ppb以下。電控部分負(fù)責(zé)控制系統(tǒng)的再生和**報(bào)警等過(guò)程，確保純化器能夠持續(xù)**穩(wěn)定地運(yùn)行。
7NK HP/UP氣體純化設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn)
常溫下使用 出口氣體中各雜質(zhì)含量小于5ppb 316L SS純化罐 單路純化設(shè)計(jì)，超高性價(jià)比 一鍵啟動(dòng)再生，全程自動(dòng)運(yùn)行，簡(jiǎn)單實(shí)用
7NK HP/UP氣體純化設(shè)備純化指標(biāo)
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氣體類型*
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可純化氣體*
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去除雜質(zhì)
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純化指標(biāo)
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惰性氣體-I
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N2, Ar, He, Ne, Kr
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H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC
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<5ppb
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氧氣-O
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O2, CDA
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H2O, CO2, NMHC
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氫氣-H
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H2
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H2O, O2, CO, CO2, NMHC
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*表格中僅列出典型的氣體類型和常見(jiàn)的可純化氣體，更多氣體純化應(yīng)用請(qǐng)與先普聯(lián)系。
高純度氮、氬、氦、氫氣體純化器型號(hào)說(shuō)明
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產(chǎn)品型號(hào)
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常規(guī)流量
(Nm3/h)
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*大壓力
(MPa)
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顆粒過(guò)濾器
(μm)
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進(jìn)/出氣口接頭
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機(jī)柜尺寸
WxDxH(mm)
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7NK010-030 HP
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10, 20, 30
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18
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1
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1/4” VCR
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650x685x1690
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7NK040 HP
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40
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18
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1
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1/4” VCR
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650x685x1840
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7NK060-080 HP
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60, 80
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18
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1
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1/2” VCR
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1000x685x1840
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7NK015-050 UP
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15, 25, 50
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24
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1
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1/4” VCR
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650x685x1840
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7NK075-100 UP
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75, 100
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24
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1
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1/2” VCR
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1000x685x1840
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表格中僅列出標(biāo)準(zhǔn)流量、指標(biāo)和配置，更多特殊要求請(qǐng)與先普聯(lián)系。
高純度氮、氬、氦、氫氣體純化器產(chǎn)品應(yīng)用
標(biāo)準(zhǔn)氣體平衡氣純化 混合氣體生產(chǎn) 電子氣體生產(chǎn) 超純氮、氬、氦、氫等氣體生產(chǎn)
