Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000
OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。產(chǎn)品：微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機(jī)露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀，Fei （維修中心，代表處，總代理，分公司，子公司，售后中心，銷售中心，上海辦，辦事處）
OG-5000系列設(shè)計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。
Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器
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高純度臭氧
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高臭氧濃度
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價格低
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無消耗品
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設(shè)計緊湊，模塊化
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經(jīng)過驗證的技術(shù)
Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000
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Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器應(yīng)用
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半導(dǎo)體
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化學(xué)氣相沉積 (CVD)
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原子層沉積 (ALD)
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氧化物生長
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表面處理
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粒子清潔
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光刻膠去除
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灰化
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其他
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